[17p-A403-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [17p-A403-13] 2段階水素プラズマ処理によるシリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜のパッシベーション性能向上

〇松見 優志¹、後藤 和泰¹、ビルデ マーカス²、黒川 康良¹、福谷 克之²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東大生研)

キーワード：水素プラズマ処理、多結晶シリコン/シリコン酸化膜、パッシベーション

我々はこれまでに、シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜に対し、パッシベーション性能の向上を目的に水素プラズマ処理を行なってきた。結果、複合膜には水素が含まれたが、その上に堆積した多結晶シリコンには水素が含まれず、そこに性能向上の余地があった。そこで今回は、高温で複合膜を水素化し、低温で多結晶シリコンを水素化する2段階水素プラズマ処理を着想し、その有用性を検討した。