[17p-A405-1~14] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[17p-A405-13] 深層学習を用いたレーザー誘起ナノ周期構造の推定による最適レーザー照射パラメータの決定

〇(B)増田 諒太¹、早崎 芳夫¹、長谷川 智士¹ (1.宇都宮大学オプティクス教育センター)

キーワード：ナノ周期構造

フェムト秒レーザーパルスによって生成されたナノ周期構造を深層学習によってその場で予測し、ナノ周期構造生成におけるレーザーパラメータを迅速に最適化することを実証した。深層学習モデルはレーザー加工に用いたレーザー照射パラメータをもとに、ナノ周期構造の詳細な画像を生成した。実験では、深層学習によって生成された画像と、実験的に得られたナノ周期構造のSEM画像を比較し、提案手法の有効性を確認した。