[17p-A405-1~14] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [17p-A405-2] GHzバーストモードフェムト秒レーザーを用いたTi表面への新奇2次元表面微細周期構造の形成

〇川端 祥太^1,2、白 石^1,3、小幡 孝太郎¹、宮地 悟代²、杉岡 幸次¹ (1.理研 光量子、2.東京農工大、3.河北科技大)

キーワード：レーザー誘起表面周期構造 (LIPSS)、GHzバーストモード、フェムト秒レーザー

我々は、高効率・高品質な材料加工が期待されているGHzバーストモードフェムト秒レーザー加工をSi基板のレーザー誘起表面周期構造（LIPSS）形成へ拡張し、従来のフェムト秒レーザー（シングルパルスモード）で形成されるLIPSSとは大きく異なる2次元LIPSSを形成することを初めて見出した。また、幅広い用途で利用されている金属材料であるTiにおいてもGHzバーストモードを用いることにより、シングルパルスモードで形成されるLIPSSとは異なる新奇なLIPSSを形成できることを明らかにした。本研究では、Ti表面にGHzバーストパルスで形成される新奇表面微細構造の加工パラメータの依存性および最適化、物理的メカニズム、表面に付与される機能についてさらなる検討を行った。