[17p-A405-1~14] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [17p-A405-9] 超短パルスレーザ照射時の材料表面膨張過程のナノスケール計測

〇魏 超然¹、伊藤 佑介¹、服部 隼也¹、孫 慧傑¹、北村 章吾¹、杉田 直彦¹ (1.東大院工)

キーワード：レーザ加工、ポンプープローブ、マイケルソン干渉計

超短パルスレーザ照射時の材料表面での基礎過程を明らかにすることが加工の精密性と能率に関する諸課題の解決に対して大事である。しかしながら，従来の側面方向からの観察では，数百ピコ秒以上経過した後の挙動しか捉えることができない．本研究では、時間分解計測法とマイケルソン干渉計を組み合わせることで，超短パルスレーザ照射後の材料表面の変形過程を，ピコ秒かつナノメートルの時空間スケールで計測する．