[17p-A408-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-A408-6] 微細構造基板上のIn-WO₃薄膜を用いた高感度アセトン検出

〇岩瀬 大輝¹、朱 子誠¹、中西 卓也²、朝日 透² (1.株式会社オプトラン、2.早大先進理工)

キーワード：金属酸化物、アセトン検出、ガスセンシング

アセトンは糖尿病のための非侵襲リアルタイムセンサの分子マーカーとして知られている。呼気中のアセトン濃度は健常者で300～900 ppb、糖尿病患者では数ppmと低い濃度として含まれておりリアルタイムでの測定を実現する上では高感度化が必要である。高感度化を実現するために微細構造基板による表面積の増加・金属ドーピングによる電子欠乏層の変化に着目し、sub ppmの濃度のアセトンにおける高感度化を追究することが本研究の目的である。