[17p-B309-1~19] 17.2 グラフェン

[17p-B309-12] MEMS構造を用いた非冷却グラフェン赤外線検出器

〇福島 昌一郎¹、嶋谷 政彰¹、岩川 学¹、小川 新平¹ (1.三菱電機株式会社)

キーワード：グラフェン、赤外線、MEMS