[17p-B309-1~19] 17.2 グラフェン

△ [17p-B309-18] エラストマーナノシートを用いた歪み印加グラフェン共振質量センサの作製

〇加藤 源基¹、新野 謙¹、斎藤 優人²、藤枝 俊宣²、崔 容俊¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹、高橋 一浩¹ (1.豊橋技科大工、2.東工大)

キーワード：グラフェン、共振器、fQ積

グラフェン転写の支持膜としてエラストマー材料のSBSナノシートを用いることで転写時にグラフェンに歪みを与えた．SBSの除去方法としてテトラヒドロフランを使用して溶解条件の検討を行いSBSナノシートを支持膜としてグラフェンが被転写基板に接着することを確認した．共振測定の結果，共振周波数，Q値ともに62％向上を確認した．エラストマー素材によるグラフェン歪み印加デバイスの作製に初めて成功し，共振特性の向上に成功した．