PDF ダウンロード スケジュール 60 いいね！ 1 コメント (0) 14:45 〜 15:00 [17p-B401-6] 【注目講演】スパッタアニールAlNを用いた波長230 nm帯UV-LEDの開発 〇上杉 謙次郎1,2、市川 修平3,4、肖 世玉5、正直 花奈子3,5、中村 孝夫5,6、土谷 正彦7、小島 一信3、三宅 秀人5 (1.三重大共創機構、2.三重大院地域イノベ、3.阪大院工、4.阪大電顕センター、5.三重大院工、6.東大生研、7.スタンレー電気) キーワード：UV-LED、AlGaN、AlN
