[17p-B409-1~17] 12.1 Fabrications and Structure Controls

△ [17p-B409-3] Direct visualization of electric potential changes in an OLED by low-dose electron holography with machine learning technique

〇(D)Yusei Sasaki¹, Kazuo Yamamoto^1,2, Satoshi Anada², Noriyuki Yoshimoto¹ (1.Iwate Univ., 2.JFCC)

Keywords:organic light emitting diode, electron holography

有機EL素子内部の電場は発光特性に影響を与えるため、電場の適切な制御に向けた評価技術の開発が重要である。本研究では、透過電子顕微鏡を用いた電位観察技術である電子線ホログラフィーと機械学習による画像処理技術を組み合わせることで、従来の1/60という短い露光時間でも同等の計測精度が得られた。さらに、Alq₃層の電場が電子線照射の増加に伴って減少することが分かり、本手法のような低露光計測の重要性を示した。