[17p-B409-1~17] 12.1 作製・構造制御

△ [17p-B409-3] 低ドーズ電子線ホログラフィー技術による有機EL発光素子内部に形成された電位分布変化の直接観察

〇(D)佐々木 祐聖¹、山本 和生^1,2、穴田 智史²、吉本 則之¹ (1.岩大院理工、2.JFCC)

キーワード：有機EL、電子線ホログラフィー

有機EL素子内部の電場は発光特性に影響を与えるため、電場の適切な制御に向けた評価技術の開発が重要である。本研究では、透過電子顕微鏡を用いた電位観察技術である電子線ホログラフィーと機械学習による画像処理技術を組み合わせることで、従来の1/60という短い露光時間でも同等の計測精度が得られた。さらに、Alq₃層の電場が電子線照射の増加に伴って減少することが分かり、本手法のような低露光計測の重要性を示した。