[17p-B410-1~12] 13.8 光物性・発光デバイス

[17p-B410-1] 窒化アルミニウムにイオン注入したランタノイドの室温発光スペクトル

〇佐藤 真一郎¹、正直 花奈子^2,3、吉田 謙一⁴、南川 英輝⁴、三宅 秀人² (1.量研、2.三重大院工、3.阪大院工、4.イオンテクノセンター)

キーワード：窒化アルミニウム、ランタノイド、希土類イオン

窒化物半導体はランタノイドの良い母材料として知られており、室温でも狭い線幅で安定した発光を電気的・光学的に制御できるため、光学材料としてのみならず量子技術的観点からも魅力的な系である。本研究では、AlNにイオン注入したランタノイド(Pr, Nd, Eu)のフォトルミネッセンス(PL)特性を調べ、熱処理温度による変化を調査した。