The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Oral presentation

13 Semiconductors » 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[17p-B414-1~15] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

Fri. Mar 17, 2023 1:00 PM - 5:00 PM B414 (Building No. 2)

Koichiro Saga(Sony), Nobuya Mori(Osaka Univ.), Hajime Tanaka(阪大)

1:15 PM - 1:30 PM

[17p-B414-2] Measurements of liquid film thickness formed
on a two-fluid jet-sprayed surface

Shinsuke Watanabe1, Kensho Yamakawa1, Yuki Mizushima1, Hiroki Takahashi2, Satomi Hamada2, Masayoshi Imai2, Toshiyuki Sanada1 (1.Shizuoka Univ., 2.Ebara Corp.)

Keywords:Two-fluid jet, Liquid film measurement, Optical fiber probe

本研究は,微小液滴を伴う高速気流の二流体ジェットが洗浄物表面に衝突した際に形成される液膜構造を明らかにすることを目的として行うものである.実験では,光ファイバープローブを用いて液膜厚さ測定を行い,空気流量を制御した条件において,二流体ジェット噴射面近傍の液膜厚さ分布を調査した.