2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[17p-B414-1~15] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2023年3月17日(金) 13:00 〜 17:00 B414 (2号館)

嵯峨 幸一郎(ソニー)、森 伸也(阪大)、田中 一(阪大)

13:15 〜 13:30

[17p-B414-2] 二流体ジェット噴射面に形成される液膜厚さ測定

渡部 真将1、山川 健翔1、水嶋 祐基1、高橋 広毅2、濱田 聡美2、今井 正芳2、真田 俊之1 (1.静岡大学、2.荏原製作所)

キーワード:二流体ジェット、液膜測定、光ファイバープローブ

本研究は,微小液滴を伴う高速気流の二流体ジェットが洗浄物表面に衝突した際に形成される液膜構造を明らかにすることを目的として行うものである.実験では,光ファイバープローブを用いて液膜厚さ測定を行い,空気流量を制御した条件において,二流体ジェット噴射面近傍の液膜厚さ分布を調査した.