13:15 〜 13:30
△ [17p-B414-2] 二流体ジェット噴射面に形成される液膜厚さ測定
キーワード:二流体ジェット、液膜測定、光ファイバープローブ
本研究は,微小液滴を伴う高速気流の二流体ジェットが洗浄物表面に衝突した際に形成される液膜構造を明らかにすることを目的として行うものである.実験では,光ファイバープローブを用いて液膜厚さ測定を行い,空気流量を制御した条件において,二流体ジェット噴射面近傍の液膜厚さ分布を調査した.
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション
13:15 〜 13:30
キーワード:二流体ジェット、液膜測定、光ファイバープローブ