[17p-D221-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[17p-D221-10] 超高面密度・完全配向 ZnO ナノロッド配列の周期構造化に向けたテンプレート基板の検討

〇野呂 拓未¹、目片 祥¹、渡辺 健太郎^1,2 (1.信州大学、2.信州大学IFES)

キーワード：ZnO ナノワイヤ、微小球リソグラフィ