[17p-D221-1~13] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

[17p-D221-8] Wire Length Dependence of Palladium Nanowire Hydrogen Gas Sensors

〇Wataru Yamaguchi¹, Mingyue Yang¹, Yexiao Sun¹, Ryosuke Nitta¹, Yutaka Majima¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:gas sensor, nano wire

EBLによるナノワイヤ作製技術を用い、SiO₂/Si基板上にパラジウムナノワイヤー水素ガスセンサーを作製した。ワイヤ長は、0.7mm、7mm、14mm、21mmとし、室温で濃度1%の水素ガスを導入した際のガスセンサーの応答特性を測定し、抵抗値変化、応答回復速度のワイヤ長依存性を検討した。