The 70th JSAP Spring Meeting 2023

Presentation information

Oral presentation

9 Applied Materials Science » 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

[17p-D221-1~13] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

Fri. Mar 17, 2023 1:30 PM - 5:00 PM D221 (Building No. 11)

Naoki Fukata(NIMS), Takeshi Ito(Kansai Univ.), Tsunaki Takahashi(Univ. Tokyo)

3:30 PM - 3:45 PM

[17p-D221-8] Wire Length Dependence of Palladium Nanowire Hydrogen Gas Sensors

Wataru Yamaguchi1, Mingyue Yang1, Yexiao Sun1, Ryosuke Nitta1, Yutaka Majima1 (1.Tokyo Tech)

Keywords:gas sensor, nano wire

EBLによるナノワイヤ作製技術を用い、SiO2/Si基板上にパラジウムナノワイヤー水素ガスセンサーを作製した。ワイヤ長は、0.7mm、7mm、14mm、21mmとし、室温で濃度1%の水素ガスを導入した際のガスセンサーの応答特性を測定し、抵抗値変化、応答回復速度のワイヤ長依存性を検討した。