[17p-D419-1~15] 6.4 薄膜新材料

[17p-D419-10] コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性

〇後藤 真宏¹、佐々木 道子¹ (1.物材機構)

キーワード：スパッタ、薄膜、ナノ構造

多種多様な薄膜作製が可能な独自に開発したコンビナトリアルスパッタ法(COSCOS)
を用いて、MgSiSn系薄膜のナノ構造制御を試みた。超格子構造からのアニールにより、複雑なナノ構造を創製することができた。その材料は、熱伝導率の低減、ゼーベック係数の増大が起こり、無次元性能指数(zT)が向上することが明らかとなった。今回の結果は、ナノ構造制御による熱電変換効率向上の可能性を示唆する。