[17p-D419-1~15] 6.4 Thin films and New materials

[17p-D419-8] Remanufacturing of transparent conductive oxide electrodes by a photo-assisted chemical solution deposition

〇Tomohiko Nakajima¹, Junichi Nomoto¹, Yuuki Kitanaka¹, Iwao Yamaguchi¹ (1.AIST)

Keywords:Transparent conductive oxides, Remanufacturing, Laser processing

PCSD(Photo-assisted Chemical Solution Deposition)法は樹脂基材上へのフレキシブル酸化物製膜など低温、高効率製膜法として研究が進められる。本研究ではITO透明導電膜の塗布から結晶化までを3分以内の短時間で完了させ、実製造プロセスで課題となるITO配線形成時の欠損発生による多大な製造ロスを解消する”リマニュファクチャリング”に利用可能であることを実証した。