[17p-D505-1~11] 1.6 超音波

[17p-D505-1] [第53回講演奨励賞受賞記念講演] Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄ラブ波型SH波の高温下における共振特性

〇鈴木 涼人¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、木村 悟利² (1.山梨大学、2.Piezo Studio)

キーワード：Ca3TaGa3Si2O14、ラブ波型SH波

Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄(CTGS)は 1,350°Cの融点まで圧電性が消失しないため，高温環境下で動作可能なSAWセンサの実現が期待できる．前報では，CTGS上にAu-IDTを用いて作製したラブ波型Shear-Horizontal(SH)波共振子の500°Cまでの共振特性を評価した結果について報告した．本報告では，さらに高温の600°Cまでの共振特性を実験的に評価した結果，CTGSの弾性定数二次温度係数を算定し，任意のカット角の周波数温度変化を計算した結果について報告する．