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[17p-D505-11] 弾性表面波デバイスへの局在表面プラズモン共鳴センサの集積化
キーワード:弾性表面波、局在表面プラズモン共鳴
医療・バイオ分野における液体検査では,液体の搬送・計測が1枚の基板上でできるシステムが求められている.そこで,液滴の搬送・攪拌が可能であるSAWデバイスと液滴の検査を可能にするLSPRセンサを1枚の基板上に集積化させた新たなデバイスの実現を目指している.本研究では集積化による影響を解析する第一歩として,SAW励振によって生じた液滴の温度上昇がLSPRに与える影響を実験的に検討した.