The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Oral presentation

1 Interdisciplinary Physics and Related Areas of Science and Technology » 1.6 Ultrasonics

[17p-D505-1~11] 1.6 Ultrasonics

Fri. Mar 17, 2023 1:30 PM - 4:30 PM D505 (Building No. 11)

Shoji Kakio(Univ. of Yamanashi), Jun Kondoh(Shizuoka Univ.)

2:00 PM - 2:15 PM

[17p-D505-3] Analysis of resonance properties of longitudinal leaky SAW on LiNbO3/SiC structure

〇(B)Ryo Takei1, Masashi Suzuki1, Shoji Kakio1, Yasushi Yamamoto2 (1.Yamanashi Univ., 2.Yamamoto-ADEC LLC.)

Keywords:SAW, dissimilar material bonding

有限要素法(FEM)によりLN/SiC構造上のLLSAWの共振特性を解析した結果，hAl/λ=0.06，h/λ=0.30においてLNの第3オイラー角を45°，SiCの第2オイラー角を40°とすると，9.05%のFBW，178 dBのアドミタンス比を示し，スプリアス応答も比較的小さい共振特性が得られることがわかった．