[17p-D519-1~10] 6.6 プローブ顕微鏡

[17p-D519-5] 水素-酸素ガス炎エッチングによって調整したタングステン探針の評価

〇(B)宇都宮 信彦¹、富取 正彦²、新井 豊子¹ (1.金沢大、2.北陸先端科技大)

キーワード：表面科学、走査型プローブ顕微鏡、炎エッチング

走査型プローブ顕微鏡（SPM）を用いて試料を高空間分解能で観察・評価するためには、SPM探針の先端が鋭利で清浄であることが必要である。走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡用の金属探針の作製方法の一種として、高温の炎の中にタングステン線を挿入し、エッチングする炎エッチング法が報告された。本研究では、水素酸素混合ガスを用いて炎エッチングを行い、作製した探針を走査型オージェ電子電子分光装置や後方散乱電子線回折装置で観察・評価した。発表では、作製した探針先端の形状・組成・結晶性について議論する。