[17p-D519-1~10] 6.6 Probe Microscopy

[17p-D519-6] Nanoscale Measurement of Temperature Distribution in Au Nanosheets Using Self-Assembled Monolayers as Temperature Probes

〇(DC)Taro Kato¹, Takahisa Tanaka¹, Hiromichi Miyagishi², Jun Terao², Ken Uchida¹ (1.Materials Eng., The Univ. of Tokyo, 2.Basic Sci., The Univ. of Tokyo)

Keywords:Kelvin Probe Force Microscopy, Self-Assembled Monolayer, Nanosheet

今回，我々デバイス表面への分子修飾およびケルビンプローブフォース顕微鏡を用いてナノスケールの温度を計測する方法を提案する．Auナノシート表面にチオールSAMを修飾し，ジュール加熱前後の表面電位を取得することで，デバイス動作時の温度を推定した．