[17p-E102-1~20] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [17p-E102-7] ひとつながりのITOからなる溶液ゲート薄膜トランジスタの創製とバイオセンシング応用

〇(M1)片山 律¹、坂田 利弥¹ (1.東大院工)

キーワード：酸化インジウムスズ、バイオセンサ、薄膜トランジスタ

ITOは導電性酸化物であるが、20nm程度の厚みでは半導体的性質を示す。そのため、100nmの導電性ITO薄膜の一部を酸でエッチング処理し、20nm程度の厚さに制御することで良好なトランジスタ特性を示す微細な溶液ゲートITO-TFTの作製が可能である。本研究では、その手法を用いて溶液ゲートITO-TFTを作製し、バイオセンシング応用に不可欠となるデバイス特性の制御と生体分子計測の可能性を調査した。