[17p-E302-1~8] ディスプレイの次のキラーアプリをねらえ！酸化物半導体の最前線

[17p-E302-7] 三次元集積デバイス応用に向けた原子層堆積法で成膜した三元系非晶質酸化物半導体In-Ga-O

〇高橋 崇典¹、上沼 睦典¹、小林 正治²、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大、2.東京大学)

キーワード：酸化物半導体、原子層堆積法