[17p-PA02-1~8] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[17p-PA02-5] XPS Analysis of Polyimide Surface Treated with Solid Source H₂O Plasma

〇Mie Tohnishi¹, Akihiro Matsutani¹, Takashi Ubukata², Sachiko Matsushita³ (1.Tokyo Tech. OFC, 2.YNU, 3.Tokyo Tech. Materials Science and Engineering)

Keywords:H2O Plasma treatment, Electrode sputtered on a polyimide sheet

ポリイミドなどの樹脂表面に金属薄膜を成膜して作られたフレキシブル電極は、電極金属と樹脂表面の良好な密着性が求められる。我々はこれまでに、ガスの供給や気化器を用いない固体ソースH₂Oプラズマ装置を用いて、ポリイミドと金属電極の密着性の効果を報告した。今回は、固体ソースH₂Oプラズマ処理したポリイミド樹脂の表面のXPS分析を行ったので報告する。