[17p-PA02-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[17p-PA02-5] 固体ソースH₂Oプラズマ処理したポリイミド樹脂の表面のXPS分析

〇遠西 美重¹、松谷 晃宏¹、生方 俊²、松下 祥子³ (1.東工大OFC、2.横国大院工、3.東工大物質理工)

キーワード：H2Oプラズマ処理、ポリイミド電極

ポリイミドなどの樹脂表面に金属薄膜を成膜して作られたフレキシブル電極は、電極金属と樹脂表面の良好な密着性が求められる。我々はこれまでに、ガスの供給や気化器を用いない固体ソースH₂Oプラズマ装置を用いて、ポリイミドと金属電極の密着性の効果を報告した。今回は、固体ソースH₂Oプラズマ処理したポリイミド樹脂の表面のXPS分析を行ったので報告する。