[17p-PA02-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[17p-PA02-7] 酸素プラズマ照射した電子線レジストSML表面のXPS分析

〇藤本 美穂¹、松谷 晃宏¹ (1.東工大OFC)

キーワード：電子ビームリソグラフィ、プラズマ、SML

電子線レジストSMLはポリメタクリル酸メチル（PMMA）を骨格とするポジ型電子線レジストである。これまでに我々は、電子線露光前に酸素プラズマを照射することでSMLレジストに増感効果が生じることを報告した。本報告では、酸素プラズマ照射前後におけるSML表面のXPS分析を行ったので報告する。