2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[17p-PA06-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

2023年3月17日(金) 13:30 〜 15:30 PA06 (ポスター)

13:30 〜 15:30

[17p-PA06-2] 化学溶液堆積法により作製したLaTaO4 薄膜の諸特性のNb 置換の影響

島 宏美1、濱嵜 容丞1、澤井 眞也1、内田 寛2 (1.防衛大、2.上智大)

キーワード:ペロブスカイトスラブ構造、LaTaO4、Nb置換

LaTaO4 はペロブスカイトスラブ構造をもつ物質で、単斜晶と直方晶の2 種類の結晶構造をもつ。直方晶相は第一原理計算により、36 μC/cm2 の自発分極をもつことが報告されているが、室温において単斜晶相と直方晶相の二相が共存することから、固相合成法による直方晶単相の合成が困難で、いまだ直方晶単相のLaTaO4 の強誘電性の報告はない。我々は、基板歪みによる応力に着目し、化学溶液堆積法による作製を試みている。本研究ではイオン半径の近いNb置換した膜を作製し、その基礎特性を評価した。