[17p-PA06-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[17p-PA06-3] BaTiO₃薄膜の強誘電特性へのGa及びAl置換効果

〇丸野内 洸¹、龔 李治坤²、太田 裕道³、片山 司^3,4 (1.北大工、2.北大院情報、3.北大電子研、4.JST-さきがけ)

キーワード：薄膜、強誘電、フレキソ効果