[17p-PA07-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-PA07-8] 圧力負荷における非晶質炭素薄膜の基板依存性評価

〇中川 颯太¹、ムハマド マドサニ¹、山崎 盛夢¹、杉原 輔扇¹、小畑 修二¹、ツンミ サラユッ²、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.東京電機大学、2.タイ王立シンクロトロン光研究所)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン