[17p-PA08-1~7] 6.5 表面物理・真空

[17p-PA08-2] 白金を蒸着した[EMIm]Tf₂N/Si表面の構造観察

〇渡邊 美紀¹、益田 純奨¹、山中 郁哉¹、中尾 悠人¹、杉山 宏一¹、黒木 伸一郎²、内藤 正路³、碇 智徳¹ (1.宇部高専、2.広大ナノデバイス、3.九工大院工)

キーワード：イオン液体、触媒、表面構造

本研究では、イオン液体を滴下したSiとSiC表面上での遷移金属元素の挙動を調べた。イオン液体を滴下したSiとSiC基板に白金(Pt)を蒸着した表面の構造を走査型プローブ顕微鏡(SPM)や走査型電子顕微鏡(SEM)及びエネルギー分散型X線分光法(EDS)で観察した。表面電子状態を準安定原子誘起電子分光法(MIES)で観測した。各表面上でのイオン液体分子とPt原子の反応に加えて、加熱温度の変化に伴う挙動について報告する。