[17p-PB05-1~6] 16.1 Fundamental properties, evaluation, process and devices in disordered materials

[17p-PB05-5] Formation mechanism of solid-state nanopores formed in amorphous thin films

〇(M2)Takumi Sugimoto¹, Ryoya Komai¹, Muneyuki Naito¹, Koichi Sudoh² (1.Konan Univ., 2.Osaka Univ.)

Keywords:solid-state nanopores, metal nanoparticles, Monte Carlo method

非晶質基板上に金属ナノ粒子を作製し高温熱処理を行うと、ナノ粒子は基板内部へと沈降し、やがて薄膜中に取り込まれる。その際、ナノ粒子上部にはナノポアが形成されることが知られているが、その形成機構はいまだ明らかにされていない。本研究では透過電子顕微鏡法により得られたナノポア形成過程に関する知見を踏まえ、カイネティックモンテカルロシミュレーションを行い、ナノポア形成機構の解明を試みた。