[18a-A202-1~8] 3.13 光制御デバイス・光ファイバー（旧3.14）

[18a-A202-6] 相変化材料を用いた光スイッチ動作のシミュレーション解析

〇佐野 陽之¹、桑原 正史² (1.石川高専、2.産総研)

キーワード：光スイッチ、相変化、GST

相変化材料GST（Ge₂Sb₂Te₅）を用いた光スイッチ動作の物理シミュレーションから、GSTの不均一な加熱が光スイッチの消光比性能を劣化させることが分かっていた。本研究では、計算結果の詳細な解析により不均一加熱の原因を明らかにし、ITOヒーター層の構造を変えた新しい光スイッチモデル構造を提案した。この新しいモデル構造では、GSTアモルファス化過程における再結晶化が抑制され、消光比性能が改善されることが分かった。