[18a-A408-1~9] 8.3 Plasma nanotechnology

[18a-A408-3] Measurement of strengths and fluctuations of electric fields in Ar plasma using a fine particle trapped by optical tweezers (3)

〇KUNIHIRO KAMATAKI¹, Toma Sato¹, Kentaro Tomita², Pan Yiming³, Daisuke Yamashita¹, Naoto Yamashita¹, Takamasa Okumura¹, Naho Itagaki¹, Kazunori Koga^1,4, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ. ISEE., 2.Hokkaido Univ., 3.Kyushu Univ. IGSES., 4.NINS)

Keywords:electric field measurement, optical tweezers, plasma processing

本研究では, 光ピンセット法により補足されたプラズマ中の微粒子をプローブとして, マイクロメートルオーダーの高い空間分解能を持つ電場強度及びその揺動成分の計測開発を行なっている．そこで, 今回は微粒子の帯電量の導出精度向上について検討した。帯電量をイオン衝突を考慮したOML理論から導出するだけでなく, プラズマ中に微粒子を二つ浮遊させ, 衝突現象におけるエネルギーの保存から微粒子の帯電量を導出した.