[18a-A408-1~9] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[18a-A408-3] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(3)

〇鎌滝 晋礼¹、佐藤 斗真¹、富田 健太郎²、Pan Yiming³、山下 大輔¹、山下 尚人¹、奥村 賢直¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,4、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.北大院工、3.九大総理工、4.自然科学研究機構)

キーワード：電場計測、光ピンセット技術、プラズマプロセス

本研究では, 光ピンセット法により補足されたプラズマ中の微粒子をプローブとして, マイクロメートルオーダーの高い空間分解能を持つ電場強度及びその揺動成分の計測開発を行なっている．そこで, 今回は微粒子の帯電量の導出精度向上について検討した。帯電量をイオン衝突を考慮したOML理論から導出するだけでなく, プラズマ中に微粒子を二つ浮遊させ, 衝突現象におけるエネルギーの保存から微粒子の帯電量を導出した.