[18a-A408-1~9] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[18a-A408-4] フェムト秒レーザー生成液中プラズマによる六方晶窒化ホウ素微粒子の表面改質(1)-実験系の構築およびプロセス評価-

〇宗岡 均¹、小池 健^1,2、伊藤 剛仁¹、寺嶋 和夫^1,2、三浦 永祐² (1.東大院新領域、2.産総研オペランドOIL)

キーワード：フェムト秒レーザー、窒化ホウ素、液中プラズマ

フェムト秒レーザーにより生成される特異な液中プラズマ反応場を活かした材料プロセスへの展開として、本発表では六方晶窒化ホウ素（hBN）微粒子の表面改質を報告する。hBN微粒子を分散させた純水（hBN分散水）中にフェムト秒レーザーを集光照射する実験系を構築し、微粒子の微細化等について評価した。散乱光像やUV-VISによりhBN微粒子の微細化を示唆する結果を得られた。