[18a-A408-1~9] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[18a-A408-7] プラズマCVD法で堆積した2層a-C:Hの機械的強度に対するカーボンナノ粒子挿入の効果

〇(B)田渕 竜也¹、小野 晋次郎¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、山下 尚人¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,2、白谷 正治¹ (1.九州大学、2.自然科学研究機構)

キーワード：プラズマ、ナノ粒子