2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-B401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

2023年3月18日(土) 09:00 〜 11:30 B401 (2号館)

新田 州吾(名大)、上野 耕平(東大)

09:00 〜 09:15

△ [18a-B401-1] アンモニアを用いたFace to faceアニールによるInGaNの平坦性の改善

〇中田 敦士1、俵迫 湧也1、佐々木 彩乃1、倉井 聡1、岡田 成仁1、山田 陽一1 (1.山口大院・創成科学)

キーワード：窒化インジウムガリウム