[18a-B401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [18a-B401-9] 光ニードル顕微鏡法を用いたGaN結晶内転位の3次元可視化における球面収差補正と空間分解能の評価

〇三浦 祐樹^1,2、小澤 祐市²、谷川 智之³、上杉 祐貴²、佐藤 俊一² (1.東北大院工、2.東北大多元研、3.阪大院工)

キーワード：窒化ガリウム、イメージング、フォトルミネッセンス

我々は、長焦点深度のベッセルビームによる深さ方向への一斉励起および自己湾曲性をもつエアリービームによる深さ情報の復元を原理とする、高速3次元可視化技術を提案してきた。本手法をGaN結晶内の転位観察に適用することで、励起スポットの1回の2次元走査のみから3次元画像の取得が可能となる。GaN観察時に課題となる球面収差を補正する光学系を導入し、GaN深部における転位の可視化性能を評価した結果を報告する。