[18a-D215-1~8] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[18a-D215-3] Wearable Perspiration Meter with 0.18 µm BCD Process

〇Ayumu Yamamoto¹, Yuta Kaga¹, Tomohiro Aso¹, Shin-ichiro Kuroki², Hideya Momose³, Koh Johguchi¹ (1.Shinshu Univ., 2.Hiroshima Univ., 3.Skinos Co., Ltd.)

Keywords:perspiration meter, wearable device, micro flow path

日常生活の発汗量計測のために、ICチップとフレキシブル基板、マイクロ流路を独自設計し、ウェアラブル発汗量計測システムを開発した。相対湿度計測回路、温度計測回路、MEMSブロワ駆動回路、通信制御回路を0.18 µm BCDプロセスを用いて一つのICに集積化した。相対湿度計測回路では従来のものより約250倍高い精度を実現した。作成したシステムは20mm×40mmのフレキシブル基板に実装され、実測により発汗量計の機能を満たすことを確認した。