[18a-D215-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[18a-D215-3] 0.18 µm BCDプロセスを用いたウェアラブル発汗量計の開発

〇山本 歩¹、加賀 悠太¹、麻生 知宏¹、黒木 伸一郎²、百瀬 英哉³、上口 光¹ (1.信州大、2.広島大、3.株式会社スキノス)

キーワード：発汗量計、ウェアラブルデバイス、マイクロ流路

日常生活の発汗量計測のために、ICチップとフレキシブル基板、マイクロ流路を独自設計し、ウェアラブル発汗量計測システムを開発した。相対湿度計測回路、温度計測回路、MEMSブロワ駆動回路、通信制御回路を0.18 µm BCDプロセスを用いて一つのICに集積化した。相対湿度計測回路では従来のものより約250倍高い精度を実現した。作成したシステムは20mm×40mmのフレキシブル基板に実装され、実測により発汗量計の機能を満たすことを確認した。