[18a-D215-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[18a-D215-7] ナノインプリント法を用いたポリマー光導波路の試作

〇森 智衆¹、伊佐早 祐大¹、辻 祐樹¹、林 翔平¹、禹 泰圭¹、板谷 太郎²、中村 文²、前田 讓治¹、天野 建² (1.東理大、2.産総研)

キーワード：ナノインプリント法、ポリマー、光導波路

電気素子と光素子を同一基板上に実装する光電融合技術では、基板上にポリマー光導波路を形成することで、光素子から光コネクタへの光配線が実現される。これまで我々は、3D形状の作製に適した光ナノインプリント技術を用いて、ポリマー材料を用いた光結合構造のプロセス検討を進めてきた。今回我々は、光電融合実装での光ナノインプリント技術を用いたシングルモード光導波路の作製に向けて、ポリマー光導波路の試作を行った。