[18p-A405-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[18p-A405-7] フェムト秒レーザー粒子集積プロセスにおける集光部近傍の伝熱解析

〇西山 宏昭¹、沼田 洸¹、青山 昌央¹ (1.山形大院理工)

キーワード：フェムト秒レーザー、ナノ粒子、集積

我々は，非感光性材料を含む超広域材料群に拡張可能な光パターニング手法として，機能性コロイド粒子のレーザー集積固化プロセスの開発に取り組んでいる．同プロセスは，材料の感光性に制限されることなく，セラミックスや金属，半導体，生体親和性材料など幅広い材料群のレーザー描画を可能とする．今回，伝熱解析による集光部近傍でのマランゴニ力の分布を求め，実測の対流場との比較を行った．