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[18p-B409-11] Development of Soft Hardness Sensor using Nanocarbon based Composite Materials
Keywords:Hardness sensor, Pressure sensor, Printed electronics
近年ヒトの触覚を模倣したソフトな触覚センサに注目が集まっている。特に、物体の硬さを識別できる硬さセンサは、把持時の力覚をリアルタイムに検出できるためロボットハンド等の応用が期待できる。一方従来の硬さセンサは、無機MEMS技術によるものが多く、フレキシブル性向上と高感度化が課題であった。本研究では、ナノカーボン材料を用いた抵抗変化型感圧薄膜によるソフト硬さセンサの作製、評価を行ったので報告する。