[18p-B409-1~12] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[18p-B409-11] ナノカーボン型複合材料によるソフトな硬さセンサの作製

〇(B)奈良 健汰¹、董 海韵¹、関根 智仁^1,2,3、Wang Yi-Fei³、竹田 泰典^1,3、熊木 大介^1,3、時任 静士^1,2,3 (1.山形大工、2.山形大院有機、3.山形大 ROEL)

キーワード：硬さセンサ、圧力センサ、プリンテッドエレクトロニクス

近年ヒトの触覚を模倣したソフトな触覚センサに注目が集まっている。特に、物体の硬さを識別できる硬さセンサは、把持時の力覚をリアルタイムに検出できるためロボットハンド等の応用が期待できる。一方従来の硬さセンサは、無機MEMS技術によるものが多く、フレキシブル性向上と高感度化が課題であった。本研究では、ナノカーボン材料を用いた抵抗変化型感圧薄膜によるソフト硬さセンサの作製、評価を行ったので報告する。