[18p-B409-1~12] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

[18p-B409-8] A Printed Highly Sensitive Pressure Sensor Using Thermally Expandable Microspheres

〇(B)Mayuka Hori¹, Junya Yoshida¹, Takeru Kaneko², Yi-Fei Wang³, Tomohito Sekine^1,2,3, Daisuke Kumaki³, Shizuo Tokito^1,2,3 (1.Fac.of Engineering, Yamagata Univ., 2.Grad. School of Organic Materials Science, Yamagata Univ., 3.Research Center for Organic Electronics (ROEL), Yamagata Univ.)

Keywords:pressure sensor, printed electronics, thermally expandable microspheres

マイクロ構造を利用したフレキシブル圧力センサは、軽量で高感度なウェアラブルデバイス等への応用が期待できる。しかしながら、当該センサの構造形成工程の煩雑さに課題があった。我々はこれまでスクリーン印刷による成膜法を用いるとともに、熱膨張性微粒子を利用することでフレキシブルで高感度な圧力センサを簡便に作製することを試みてきた。今回、本センサの構造最適化や特性の詳細な評価を行ったのでその結果について報告する。