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△ [18p-D519-13] ガラス表面のヤケの評価方法の検討 [2]
キーワード：ヤケ、ナノインデンテーション
目視で確認できないような微小なヤケが発生しているガラス基板に光学薄膜を成膜すると，成膜された膜に色ムラや白濁が発生する．微小なヤケは発見が難しく，成膜後までヤケの存在に気付かないことがある．成膜前に微小なヤケを測定する技術は光学素子や成膜部品の不良を減らすことにも繋がる有用な技術である．本研究では成膜前のガラス基板に適用することを想定して基板外観に影響を与えない方法で微小なヤケを評価する方法を検討するとともに，最終的には成膜した膜の構造への影響を検討する．