2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[18p-D519-1~15] 6.5 表面物理・真空

2023年3月18日(土) 13:00 〜 17:15 D519 (11号館)

永村 直佳(物材機構)、光原 圭(コベルコ科研)

14:15 〜 14:30

[18p-D519-6] Si(111)上のIn多層膜の成長と原子構造

村田 朋香1、黒石 健太1、湯川 恵介1、八田 振一郎1、奥山 弘1、有賀 哲也1 (1.京大院理)

キーワード:金属超薄膜、角度分解光電子分光、低速電子回折

Si(111)表面上に作製したIn多層膜について、LEEDとSTM、ARPESを用いて調べた。基板温度を100 KにしてInを蒸着することで、3.6 MLの蒸着で(11×11)周期、4.2 ML以上の蒸着で (√3×√3)周期の超構造を観察した。どちらの超構造もSi(111)と近似的に整合する。