[18p-E102-1~13] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [18p-E102-13] 形状パラメータ最適化による高感度MEMS表面応力ガスセンサ

〇十亀 龍星¹、阪上 天斗¹、崔 容俊¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹、高橋 一浩¹ (1.豊橋技科大工)

キーワード：ファブリペロー干渉計、表面応力センサ、揮発性有機化合物

サブppmのEtOHガスが検出可能な光干渉型MEMS表面応力センサの開発に取り組んでいる。EtOHガス分子がガス吸着膜PMMAに付着すると膜が収縮し、沈む方向に変形する。この変形を反射スペクトルのピークシフト量として測定した。表面応力センサでは、膜厚の薄膜化が感度を向上させるが、感応膜の厚膜化により表面応力が増大し、膜厚190 nmで最も感度が高くなった。その結果、以前報告したセンサの４分の１の量のエタノールを検出することに成功した。